تجهیزات آزمایشگاه ریز فناوری

تجهیزات موجود در آزمایشگاه
 
 آزمايشگاه ريزفناوری دارای تجهيزات متنوعی در زمينه لايه نشانی و ساخت رزين و محلول های شيمیايي است. بعضی از تجهیزات موجود در آزمایشگاه به شرح زیر هستند:
             
             
         
             
 

1-دستگاه دسیکاتور

         کارایی: گاززدایی حلال هایی مانند PDMS جهت ایجاد قالب هایی برای کاربردهای میکروفلوئیدیک

         حجم: بيش از سه ليتر

       
         
     
         
     

پرینتر تماسی

         کارايي: انتقال الگوها از ماسک های باینری روی ویفرهای پوشش داده شده با فتورزيست

         حداکثر اندازه ویفر: 4 اینچ

         رزولوشن: کمتر از 50 میکرون

         طول موج عملکرد: 420-350 نانومتر

         مجهز به صفحه داغ

         قابلیت کنترل و برنامه ریزی دما و نوردهی

     
     
   
   
   
 

2-دستگاه کندوپاش جریان مستقیم

         کارايي: برای لايه نشانی لايه‌های رسانا

         حداکثر اندازه ویفر: 4 اینچ

         فلزات قابل لايه نشانی: کروم، طلا، نيکل

         حداکثر ضخامت قابل لايه نشانی: 400 نانومتر

 
   
         
     
         
      دستگاه لایه نشان چرخشی

         کارايي: ايجاد لايه های نازک از مواد شيمیایی روی ویفر

         اندازه ویفر: 4 اینچ

         حداکثر دور: 5000 rpm

         دارای قابلیت برنامه ریزی دور، شیب، پله و تعداد مراحل

         
     
         
 

3-دستگاه نوشتن ماسک

         کارايي: ایجاد ماسک های باینری از ماسک های کروم خام

         حداکثر اندازه ماسک: 5 اینچ*5 اینچ

         حداقل اندازه جزئیات: 2 میکرون

         طول موج عملکرد: 600-350 نانومتر

         با قابلیت برنامه نویسی و قبول فایل ماسک

   
     
     
         
     
         
        میز زدایش مرطوب

         کارایی: لایه برداری حجمی از سیلیکون، شیشه، Si3N4

         حداکثر اندازه ویفر: 4 اینچ

         
     
         
 

4-میکروسکوپ نوری

         کارایی: اندازه گیری ابعادی، گرفتن عکس و کنترل ظاهری قطعه در هر مرحله از تولید

         مدل: B-353 MET

         بزرگ نمایی: 4، 10، 20 و 50 برابر

   
     
     
         
     
         
     

ترازو  A&D

         کارایی: ااندازه گيری وزنی برای ساخت محلول ها

         مدل: EK-200i

         بازه اندازه گیری: 0.01 تا 300 گرم

         دقت اندازه گیری: 0.01 گرم

         
     
         
 

5-کوره خلاء MEMMERT

         کارایی: گاز زدایی و تنش زدایی

         مدل: VO400 memmert

         بازه کنترل دما: C 200-5

         دقت کنترل دما: 1 ±

         بازه کنترل خلاء: mbar 10-1100

         دقت کنترل خلاء: 1mbar

         دارای قبلیت برنامه نویسی

   
     
     
         
     
         
     

IKA, Hot plate- stirrer

         کارایی: حرارت دادن و هم زدن محلول

         مدل: RCT

         دارای سنسور فیدبک دمایی با نمایشکر دیجیتال

         بازه کنترل دما: C 50-360

         دقت کنترل دما: 1 ±

         همزن مغناطیسی تا rpm 2500

     
     
         
     
         
 

6-Profiler


         کارایی: اندازه گیری پروفیل و زبری سطح در راستای X-Z

         بازه اندازه گیری ارتفاع: 1 انگستروم تا 1 میلیمتر

         رزولوشن اندازه گیری ارتفاع: 1 انگستروم
بازه 5cm x 5cm : X-Y

   
         
     
         
     

دستگاه آبکاری الکتروشیمیایی

         کارايي: رسوب لایه های ضخیمی (تا 50 میلی متر) از فلزات هادی روی سطح سیلیکونی
     
     
         
     
         
 

 7-دستگاه تبخیرکننده چرخشی
 

         کارايي: برای مخلوط کردن رزين ها و مواد شيميايي و خروج آب آز آن ها در حين مخلوط کردن

   
         
     
         
     

ترازوی دقیق

 

         کارایی: اندازه گیری وزنی بسیار دقیق نرخ زدایش، تیتراسیون دقیق

         دقت ترازو: 0.1 میلی گرم

                     حداکثر وزن قابل اندازه گیری: 210 گرم
     
     
         
     
         
 

8-اولتراسونیک

 

         حجم تانک اتچینگ: 4 لیتر

         توان اولتراسونیک: متغیر 0-400 وات

         بازه کنترل دمای مخزن: 25 – 80oc

        دور در دقیقه همزن: rpm 200